반도체
클라우드, 빅데이터의 출현, 3D-NAND 등 신형 칩의 공업화는 반도체 업계에 커다란 충격을 주었습니다.
DAIKIN은 지금까지 축적해 온 불소 기술을 활용하여 반도체 업계가 요구하는 목표와 퍼포먼스 향상을 위한 Solution을 계속 제공해 갑니다.
트렌드
클라우드와 빅데이터에 대응하기 위해 데이터센터의 보급이 진행되고 있으며, 종래의 하드디스크 대체로서 SSD(메모리)가 성장해 왔습니다. 또한 앞으로는 ADAS(첨단운전자지원시스템)와 자동운전의 보급에 의해 차재용 반도체도 늘어난다고 예측되고 있습니다.
DAIKIN은 반도체 제조장치의 튜브와 밸브, 고순도 에칭제, 실링재, 에어 필터 등에서 지금까지 축적한 품질관리와 생산기술의 노하우를 활용하여 엄격한 생산환경에 공헌합니다.
용도
반도체 장치용 배관
배관 재료에는 내약품성과 고순도가 요구됩니다. 불소수지 NEOFLON PFA는 이러한 환경에 최적의 재료입니다.
배기 덕트와 열교환기
DAIKIN의 불소 도료는 난연성과 내약품성이 뛰어난 코팅제로 내구성을 향상시킵니다.
약액 용기・탱크
안전하고 고품질의 약액 저장을 위해 고순도이며 내약품성이 뛰어난 불소수지의 라이닝 시트가 사용됩니다.
에칭제
높은 클린성이 요구되는 제조공정에서 고순도의 에칭제가 사용되고 있습니다.
실링재
반도체 제조장치 내의 실링재로서 고순도이며 내약품성이 뛰어난 퍼플루오로 고무의 O링이 사용되고 있습니다.